金融界2025年3月24日消息，國家知識產權局信息顯示，研微（江蘇）半導體科技有限公司申請一項名為“基板處理裝置及其管路匹配方法”的專利，公開號CN 119663236 A，申請日期為2024年12月室內微改 。

專利摘要顯示，本申請?zhí)峁┝艘环N基板處理裝置及其管路匹配方法，涉及半導體設備領域室內微改 。本申請?zhí)峁┑幕逄幚硌b置包括與處理腔室連通的進氣管路和排氣管路，進氣管路包括第一管路和第二管路；排氣管路上設有用于檢測處理腔室壓力的壓力傳感器；第一管路上設有流阻調節(jié)機構。本申請通過獲取分別由第一管路和第二管路通入氣體時處理腔室的壓力，基于獲取的壓力值獲取處理腔室在預設時間內的壓差，然后基于獲取的壓差調節(jié)第一管路上的流阻調節(jié)機構，使得基板處理裝置的進氣管路匹配，即本申請在第一管路上設置流阻調節(jié)機構，通過該流阻調節(jié)機構使基板處理裝置的進氣管路匹配，從而減小基板處理過程中處理腔室內壓力的波動，提升基板處理的質量。

天眼查資料顯示，研微（江蘇）半導體科技有限公司，成立于2022年，位于無錫市，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)為主的企業(yè)室內微改 。企業(yè)注冊資本2799.8133萬人民幣，實繳資本150萬人民幣。通過天眼查大數據分析，研微（江蘇）半導體科技有限公司共對外投資了3家企業(yè)，參與招投標項目8次，財產線索方面有商標信息9條，專利信息31條，此外企業(yè)還擁有行政許可10個。

來源：金融界