金融界2025年3月24日消息，國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局信息顯示，研微（江蘇）半導(dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“基板處理裝置及其管路匹配方法”的專(zhuān)利，公開(kāi)號(hào)CN 119663236 A，申請(qǐng)日期為2024年12月室內(nèi)微改 。

專(zhuān)利摘要顯示，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N基板處理裝置及其管路匹配方法，涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域室內(nèi)微改 。本申請(qǐng)?zhí)峁┑幕逄幚硌b置包括與處理腔室連通的進(jìn)氣管路和排氣管路，進(jìn)氣管路包括第一管路和第二管路；排氣管路上設(shè)有用于檢測(cè)處理腔室壓力的壓力傳感器；第一管路上設(shè)有流阻調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。本申請(qǐng)通過(guò)獲取分別由第一管路和第二管路通入氣體時(shí)處理腔室的壓力，基于獲取的壓力值獲取處理腔室在預(yù)設(shè)時(shí)間內(nèi)的壓差，然后基于獲取的壓差調(diào)節(jié)第一管路上的流阻調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使得基板處理裝置的進(jìn)氣管路匹配，即本申請(qǐng)?jiān)诘谝还苈飞显O(shè)置流阻調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，通過(guò)該流阻調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)使基板處理裝置的進(jìn)氣管路匹配，從而減小基板處理過(guò)程中處理腔室內(nèi)壓力的波動(dòng)，提升基板處理的質(zhì)量。

天眼查資料顯示，研微（江蘇）半導(dǎo)體科技有限公司，成立于2022年，位于無(wú)錫市，是一家以從事計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)為主的企業(yè)室內(nèi)微改 。企業(yè)注冊(cè)資本2799.8133萬(wàn)人民幣，實(shí)繳資本150萬(wàn)人民幣。通過(guò)天眼查大數(shù)據(jù)分析，研微（江蘇）半導(dǎo)體科技有限公司共對(duì)外投資了3家企業(yè)，參與招投標(biāo)項(xiàng)目8次，財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息9條，專(zhuān)利信息31條，此外企業(yè)還擁有行政許可10個(gè)。

來(lái)源：金融界